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半導體研磨專用平板狀氧化鋁

   發布時間:2022-12-17 點擊人數:124次

氧化鋁有多種不同的類型,常規的氧化鋁與其他金屬氧化物一樣,本身的硬度大,熔點高,機械強度好,且耐腐蝕抗氧化。平板狀氧化鋁還因其獨特的片狀結構和晶體形狀,從而具備了微米粉體和納米材料的雙重特性。它屬于α-Al2O3,具有明顯的鱗狀結構特征和較大的徑厚比。 目前,平板狀氧化鋁晶粒的徑向尺度一般為5-50 μm,厚度一般在100-500 nm之間,晶型發育良好的微粒還表現出規則的六角形貌。

一、平板狀氧化鋁的性質與應用

1、磨料拋光液 對于材料加工行業來說,無論是材料的拋光,還是電子產品的精細打磨,都離不開磨料。氧化鋁又稱為剛玉,摩氏硬度9,具有很大的硬度,十分適合當研磨材料。而平板狀氧化鋁相對于常規的納米氧化鋁,其平整光滑的片形表面對于被磨對象(如半導體硅晶片,智能手機外殼等等)來說不易劃傷,產品的合格品率可因此提高10%至15%。所以,平

板狀氧化鋁已經成為了高精密微電子行業,寶石加工業和金屬陶瓷行業的新寵。

2、珠光顏料 目前使用最多的珠光顏料常用天然云母薄片造出。但天然云母薄片常含有有色雜質離子,分離較為困難,且其過厚的邊緣會使珠光顏料易發生散射現象,對其視覺效果造成不良的影響。 人工合成的平板狀氧化鋁粉體,具有天然云母無法獲得的設計自由度和物理化學性能。在合成過程中,可以消除或控制雜質的引入,同時使產品具有狹窄的粒度和厚度分布,大的徑厚比,幾乎完全無色和光滑平整的表面,而且這種氧化鋁在水中具有良好的分散性。因此,它是優質珠光顏料理想的底材。


以平板狀氧化鋁為基體,在其表面包覆一層或多層高折射率的金屬氧化物(如二氧化鈦、氧化鐵等),就可以制備出性能優異的珠光顏料。這種珠光顏料不但可以發揮出云母鈦珠光顏料的優點,還可以彌補其不足,充分體現珠光顏料的各種性能。而且,與云母鈦珠光顏料相比,它用較少的著色量就可達到相同的效果。

3、化妝品 平板狀氧化鋁具有較小的粒度和厚度分布以及較大的徑厚比,它的化學性能穩定,幾乎無色而且表面光滑平整,在水中具有良好的分散性,最為重要的是,這種粉體無毒無味,因此也被廣泛應用于化妝品領域。 平板狀氧化鋁作為一種可以改良化妝品導熱性的添加劑,不僅可以使化妝品呈現出較高的光澤度和明亮的色彩體驗,而且貼服在皮膚表面有著很好的舒適度。它有著優越的鋪展性和粘附性能,能夠有效的防止油脂分泌或皮膚出汗造成的粉妝脫落。

4、功能涂膜 性能優越的平板狀氧化鋁無團聚現象,且具有良好的附著力,易于與其他功能微粉相結合,制備成出各種前景誘人的新型功能涂膜。比如用于隱形飛機的功能涂膜可以吸收電波以防止被雷達搜尋到; 此外,氧化鋁涂膜還有阻隔紫外線,進行光催化等功能,因此在太陽能電板上也有著不錯的應用前景。

圖示:平板狀氧化鋁用于太陽能電板

5、無機填充劑 作為填充劑是平板狀氧化鋁最早的應用之一,它被成功地用作聚合物的填料,以增強其熱導率。 氧化鋁的熱導率比有機聚合物高很多,在聚合物中添加一定量的平板狀氧化鋁,就可以形成氧化鋁網絡。該網絡能夠把大部分熱量傳出,因此用這種聚合物一陶瓷復合材料制備的電子元件的壽命可以大大提高,平板狀氧化鋁的直徑越大,所形成網絡的節點越少,導熱效果就越好。


圖示:平板狀氧化鋁用于聚合物填料,提高電子元件散熱能力

6、用作增韌劑 將片狀氧化鋁作為第二相增韌劑加入到陶瓷中,可以起到增加裂紋偏轉和橋聯作用,對提高陶瓷的斷裂韌性有明顯的效果。采用引入平板狀氧化鋁晶種的方法,在熱壓燒結的條件下可制備出斷裂強度為600MPa,斷裂韌性為7.9MPa·m1/2的具有異向生長晶粒的Al203陶瓷。




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